Üretim alanında, elipsometri verilerinin değeri yalnızca probun sıcaklığına bağlıdır. Yumuşak veya sert fırınlamalar sırasında meydana gelen 1°C’lik bir sıcaklık değişimi, fotoresistin kalınlığını ve CD değerlerini etkiler; bu da ürünün kalitesini bozar. Biz ise bu tür sapmaların olmaması için elipsometri probu ısıtıcısını özel olarak tasarladık: Waferin sıcaklık uniformitesi ±0,1°C civarında kalır böylece okumalar sıcaklık dalgalanmalarına değil, sürece göre yapılır.
İç düzeyde önemli olanlar
Isıtıcı, düşük termal kütleye sahip ve NIR ortamlar için optimize edilmiş bir eleman ile kuvars malzemeden yapılmış bir ısı iletim yolu kullanır. 25°C ile 300°C arasındaki sıcaklık değerleri ±0,1°C içinde sabit kalır ve rampa kontrolü sayesinde fotoresistin termal durumu belirlenen standartlarda tutulur. Temiz oda kuralları da göz önünde bulundurulmuştur: Kullanılan malzemeler ve contalar Class 1–100 standartlarına uygun olarak seçilmiştir ve tasarım, sabit çalışma koşullarında veya döngülü işlemler sırasında parçacık üretmez. Ürünün verimi 5.000 saat üzerinde stabil kalır ve sürekli kullanım sırasında yoğunlukta %5’ten az bir değişim olur.
Litografide neden işe yarar?
Litografi cihazlarında, prob ısıtıcısı ölçüm noktasındaki termal koşulları sabitler. Böylece sert fırınlamadan sonra ortaya çıkan sıcaklık kaynaklı sapmaların önüne geçilir ve yeniden işlem yapılmasına gerek kalmaz. Yumuşak fırınlamaların tekrarlanabilirliği arttığı için işlem süreçleri daha verimli hale gelir ve elipsometri, filmin gerçek davranışlarını gösterebilir. Bunun sonucunda daha az hata olur, CD kontrolü daha hassas hale gelir ve işlem süreleri önceden planlanabilir. Ayrıca hızlı ısınma ve düşük bekleme enerjisi tüketimi sayesinde enerji tasarrufu sağlanır; ancak hassasiyetten ödün verilmez.
Doğru şekilde kullanabilmek için neye ihtiyaç var?
Bu cihaz için temiz ve filtrelenmiş bir güç kaynağı ve prob arayüzüne doğru mekanik hizalanma gereklidir. Hatalı hizalanma, mikron ölçeğinde termal düzensizliklere yol açabilir. Cihaz standart arayüzlerle entegre olabilir, ancak elipsometri ünitesi için bağlayıcı ve montaj detaylarının belirlenmesi gerekir. Wafer yığınınız için PID sabitlerini ayarlamak amacıyla kısa bir test süreci planlanmalıdır.