Нагрівання ІЧ-променями проти нагріву гарячим повітрям: чому ваш обладнання для обробки напівпровідників працює повільно
Якщо ви все ще використовуєте нагрівання гарячим повітрям для глибокої обробки напівпровідників, то, ймовірно, ви витрачаєте занадто багато часу на очікування.
Адже нагрівання гарячим повітрям ґрунтується на процесі конвекції. Потрібно нагріти всю камеру – кожен кубічний дюйм повітря – перш ніж сам пластинчатий матеріал почне нагріватися. Це дуже повільний процес. Цей затримувальний ефект значно скорочує ефективність роботи обладнання.
Усе залежить від швидкості.
Нагрівання ІЧ-променями працює інакше. Воно не пов’язане з повітрям; просто випромінювання потрапляє прямо на пластинчатий матеріал. Це дуже швидко.
Замість того, щоб чекати, поки вентилятор розповсюдить тепле повітря, фотони відразу ж починають нагрівати матеріал. Час підготовки та завершення процедури значно скорочується. Коли цей затримувальний ефект зникає, продуктивність обладнання значно зростає.
Крім того, з нагріванням ІЧ-променями можна краще контролювати процес нагрівання. При нагріванні гарячим повітрям завжди потрібно стежити за „холодними зонами“, які виникають через порожні простори в повітрі чи аномальні турбуленції. Це серйозна проблема. За допомогою ІЧ-променів можна точно контролювати розподіл тепла. Достатньо лише налаштувати розташування ламп, щоб компенсувати втрати тепла на краях. Таким чином, рівномірність нагрівання досягається без проблем.
Але є одна умова: не можна будувати обладнання без урахування особливостей ІЧ-нагріву. Оскільки ІЧ-промені діють дуже швидко, потрібен високошвидкісний датчик та чітка система керування. Якщо датчик працює повільно, ви можете перегріти пластинчатий матеріал, перш ніж система зможе припинити подачу енергії.
Це компроміс, про який потрібно знати.
ІЧ-нагрівання є ефективним методом, але воно діє лише в певному напрямку. Воно нагріває лише те, що може „бачити“.
Якщо ваше обладнання має глибокі ямки чи складні 3D-форми, виникнуть проблеми з рівномірністю нагрівання. Не можна просто встановити ІЧ-лампу в старе обладнання для нагрівання гарячим повітрям. Потрібно переосмислити всю конструкцію обладнання, щоб забезпечити чіткий кут огляду на пластинчатий матеріал.