На поверхні пластини дані еліпсометрії мають значення лише тоді, коли температура зонда залишається стабільною. Коливання температури на рівні 1°C під час процедур „м’якого“ чи „жорсткого“ випалювання можуть вплинути на товщину фотополімеру та значення CD. Це призводить до того, що пластина не може бути використана у подальшому процесі виробництва. Ми створили нагрівач для зонда еліпсометра таким чином, щоб температура залишалась стабільною – рівномірність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C. Таким чином, показники, отримані за допомогою еліпсометра, відображають справжні параметри процесу, а не коливання температури.
Що є важливим у конструкції
Нагрівач використовує елемент з низькою тепловою масою та оптимізований для роботи в інфрачервоному діапазоні. Кварцевий тепловий шлях допомагає уникнути перепадів температури на поверхні пластини. Температура може контролюватися в діапазоні від 25°C до 300°C з точністю ±0,1°C. Контроль температури дозволяє підтримувати стабільні умови для фотополімеру. Умови чистої кімнати також враховуються: матеріали та герметики обираються з урахуванням вимог класу 1–100. Конструкція не створює частинок під час постійної роботи. Робоча потужність залишається стабільною протягом понад 5 000 годин, з допуском коливань інтенсивності менше 5%.
Чому це корисно у літографії
У літографічних установках нагрівач забезпечує стабільні теплові умови в точці вимірювання. Це дозволяє уникнути несправностей, які виникають через коливання температури під час процедур випалювання. Це сприяє кращій точності вимірювань та можливості планування часу виконання процедур. Також досягається економія енергії завдяки швидкому досягненню стабільної температури та низьким втратам під час бездіяльності, при цьому не втрачається точність вимірювань.
Що потрібно зробити правильно
Для коректної роботи пристрою необхідна чиста та фільтрована електроенергія, а також точне механічне вирівнювання з интерфейсом зонда. Неправильне вирівнювання може призвести до неоднорідності температури на поверхні пластини. Пристрій може інтегруватися зі стандартними інтерфейсами, але необхідно вказати тип з’єднувача та спосіб монтажу для еліпсометра. Потрібно також провести коротку процедуру налаштування параметрів PID для вашої пластини.