Trong quy trình sản xuất, dữ liệu thu được từ phương pháp ellipsometry chỉ có giá trị khi nhiệt độ của thiết bị đo được kiểm soát chính xác. Sự thay đổi nhiệt độ 1°C trong quá trình nung cứng hoặc nung mềm sẽ làm thay đổi độ dày của lớp phim quang học và giá trị CD; điều này sẽ khiến wafer không thể được sử dụng được nữa. Chúng tôi đã chế tạo bộ sưởi dành cho thiết bị đo ellipsometry sao cho không có sự dao động nhiệt độ nào xảy ra: mức độ đồng đều về nhiệt độ của wafer được duy trì ở mức ±0,1°C. Nhờ vậy, các chỉ số đo được vẫn ổn định, không bị ảnh hưởng bởi sự thay đổi nhiệt độ.
Những yếu tố quan trọng Bộ sưởi này sử dụng các linh kiện có khối lượng nhiệt thấp và được tối ưu hóa cho bước sóng hồng ngoại, cùng với đường truyền nhiệt bằng thạch anh để tránh sự chênh lệch nhiệt độ trên bề mặt wafer. Nhiệt độ có thể được điều chỉnh từ 25°C đến 300°C, với độ chính xác trong khoảng ±0,1°C. Cơ chế kiểm soát nhiệt độ giúp duy trì mức nhiệt phù hợp cho lớp phim quang học. Các quy định liên quan đến môi trường sạch cũng được tuân thủ: các vật liệu và bộ phận cách ly được chọn sao cho phù hợp với tiêu chuẩn Class 1–100. Thiết kế này cũng giúp tránh việc tạo ra các hạt bụi trong quá trình hoạt động. Hiệu suất của bộ sưởi vẫn ổn định sau hơn 5.000 giờ hoạt động, với mức sai số về cường độ ánh sáng dưới 5%.
Tại sao nó lại hiệu quả trong quy trình lithography? Trong quy trình lithography, bộ sưởi giúp kiểm soát chính xác các điều kiện nhiệt tại điểm đo, nhờ đó tránh được những sai lệch do nhiệt độ gây ra, giúp giảm thiểu việc phải làm lại quy trình. Điều này giúp tăng tính lặp lại của quy trình nung mềm, và phương pháp ellipsometry có thể đo được hiệu suất thực tế của lớp phim quang học. Kết quả là ít xảy ra sai lệch hơn, việc kiểm soát giá trị CD cũng chính xác hơn, và thời gian hoàn thành công việc cũng có thể được dự đoán chính xác hơn. Ngoài ra, bộ sưởi này còn giúp tiết kiệm năng lượng nhờ khả năng ổn định nhiệt độ nhanh và mức tiêu thụ năng lượng thấp, mà vẫn giữ được độ chính xác cao.
Những yếu tố cần chú ý Thiết bị này cần nguồn điện sạch và được lọc kỹ lưỡng, cùng với sự căn chỉnh chính xác với bộ phận đo. Nếu không, sự sai lệch về vị trí có thể gây ra sự chênh lệch nhiệt độ ở mức micromet. Thiết bị này có thể được tích hợp với các công cụ tiêu chuẩn, nhưng bạn cần xác định rõ loại kết nối và cách lắp đặt phù hợp với thiết bị đo của mình. Hãy lên kế hoạch thực hiện một vài lần chạy thử để điều chỉnh các thông số PID phù hợp với wafer của bạn.