Hãy ngừng để các nguồn nhiệt phá hủy chất lượng của các tấm wafer của bạn đi!
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, chắc hẳn bạn đã biết cách xử lý vấn đề liên quan đến việc lọc không khí rồi. Nhưng có một vấn đề nữa: các nguồn nhiệt chính là thủ phạm gây hại cho chất lượng của các tấm wafer.
Hầu hết các bộ phận gia nhiệt thông thường đều gây ra nhiều bụi bẩn. Chúng giải phóng các hạt siêu nhỏ mà mắt thường không thể nhìn thấy được; tuy nhiên, các tấm wafer thì lại cảm nhận được điều này. Đó chính là lý do tại sao chúng tôi sử dụng những chiếc đèn hồng ngoại làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao.
Tại sao thạch anh lại hiệu quả?
Chúng tôi chọn thạch anh vì một lý do đơn giản: nó không bị vỡ thành bụi khi bị nung nóng. Khác với những bộ phận gia nhiệt bằng kim loại, những chiếc đèn này sử dụng bức xạ hồng ngoại tần số cao. Nhiệt lượng được truyền trực tiếp đến mục tiêu, không lãng phí thời gian để làm nóng không khí xung quanh. Điều này giúp tránh việc các dòng khí convection tạo ra bụi bẩn.
Ngoài ra, chúng tôi còn nung chảy các ống thạch anh ở nhiệt độ cực cao, nhằm loại bỏ mọi chất hữu cơ còn sót lại trước khi ánh sáng từ đèn chiếu vào. Vì vậy, khi đèn hoạt động ở nhiệt độ cao, sẽ không có bụi bẩn nào phát sinh.
Kích thước nhỏ, công suất lớn
Chúng tôi thiết kế những chiếc đèn này để đạt được hiệu suất cao nhất. Bằng cách tích hợp một lượng lớn công suất vào một không gian nhỏ, chúng tạo ra mật độ nhiệt cần thiết để sấy khô các tấm wafer, mà không cần dùng đến những lò nung cồng kềnh chiếm diện tích.
Nếu bạn quan sát kỹ các bộ phận kín của đèn, bạn sẽ thấy chúng tôi đã dành nhiều công sức để đảm bảo chúng hoạt động tốt. Chúng tôi sử dụng các bộ phận kín bằng kính và kim loại để giữ khí halogen bên trong. Nếu bộ phận kín này bị rò rỉ, đèn sẽ ngay lập tức bị hỏng. Chúng tôi thiết kế các bộ phận này sao cho chúng không bị nứt khi đèn hoạt động liên tục.
Những hạn chế và cách khắc phục
Thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao thì khá nhạy cảm với nhiệt độ. Nó yêu thích nhiệt độ cao, nhưng lại không chịu được va đập. Nếu bạn xử lý nó một cách thiếu cẩn thận trong quá trình lắp đặt, hoặc máy móc có nhiều rung động, đèn sẽ bị hỏng. Hãy đảm bảo rằng các bộ phận kẹp đèn được bảo vệ tốt.
Một điểm nữa: bức xạ hồng ngoại tần số cao rất mạnh. Bạn cần kiểm tra kỹ xem liệu lớp bảo vệ của đèn có đủ chất lượng để chống lại bức xạ này hay không. Nếu không, bạn có thể làm hỏng các cảm biến gần đó hoặc làm tan chảy các bộ phận bằng nhựa trong máy móc của mình.