Hãy cùng bàn về vấn đề an toàn điện trong quá trình sử dụng các bộ phản xạ ánh sáng dùng để xử lý wafer.
Các thiết bị chiếu sáng dùng để xử lý wafer không phải là thứ có thể xem thường được. Chúng phải chịu áp suất nhiệt và điện áp cực cao, điều mà hầu hết các linh kiện khác không thể chịu đựng nổi.
Khi nhìn vào bộ phản xạ ánh sáng, có vẻ như đó chỉ là một tấm gương dùng để phản chiếu ánh sáng thôi. Nhưng thực tế, nó đóng vai trò quan trọng trong việc giữ cho mạch điện được an toàn. Đó là lý do tại sao chúng ta không thể mạo hiểm với chúng. Mỗi chiếc đèn rời khỏi xưởng của chúng tôi đều phải trải qua các bài kiểm tra về khả năng chịu áp điện và độ cách điện. Không có ngoại lệ nào cả.
Làm thế nào để kiểm tra chất lượng?
Chúng tôi thực hiện các bài kiểm tra căng thẳng lên hệ thống cách điện của đèn. Chúng tôi áp dụng điện áp cao hơn nhiều so với mức điện áp mà đèn phải chịu trong quá trình sử dụng bình thường. Tại sao vậy? Bởi vì chúng tôi muốn phát hiện ra những khiếm khuyết tiềm ẩn – như những vết nứt nhỏ trên bề mặt thủy tinh hoặc bụi bẩn còn sót lại – để chúng có thể bị phát hiện ngay trong phòng thí nghiệm của chúng tôi. Nếu đèn bị chập mạch, thì nó coi như vô dụng. Tốt hơn hết là chúng tôi loại bỏ chiếc đèn đó ngay bây giờ, thay vì để bạn phải đối mặt với tình trạng chập mạch hoặc hỏng hóc sau khi đã lắp đặt nó vào dây chuyền sản xuất của bạn. Chúng tôi cũng luôn theo dõi chặt chẽ độ cách điện của đèn (được đo bằng đơn vị Megaohms), để đảm bảo rằng dòng điện chỉ chảy trong filamen, chứ không rò rỉ vào thân máy.
Tại sao chúng tôi lại quan tâm đến chất lượng đến vậy?
Nếu bạn sử dụng các thiết bị xử lý wafer cao cấp, bạn sẽ biết rằng độ chính xác của các thông số kỹ thuật là rất quan trọng. Một chút rò rỉ điện cũng có thể gây ra nhiễu tín hiệu hoặc khiến cuộc sống của dây chuyền sản xuất bị gián đoạn. Điều đó có nghĩa là dây chuyền sản xuất sẽ phải dừng lại, và bạn sẽ mất thời gian để sửa chữa. Một số công ty chỉ kiểm tra một vài chiếc đèn trong mỗi lô hàng rồi coi như xong. Nhưng chúng tôi thì không làm vậy. Khi chiếc máy của bạn có giá trị hàng triệu đô la, tỷ lệ lỗi 1% là quá cao. Chúng tôi kiểm tra từng chiếc đèn một.
Một thông tin quan trọng: Ngay cả những chiếc đèn đã được kiểm tra kỹ lưỡng nhất cũng không thể khắc phục được những lỗi do cách lắp đặt sai. Một chiếc đèn có chứng chỉ chất lượng vẫn có thể bị hỏng nếu các đầu nối của nó không được gắn chặt, hoặc nếu bạn bỏ qua các yêu cầu về việc làm mát máy. Những yếu tố này sẽ tạo ra lượng nhiệt lớn, và theo thời gian, lượng nhiệt này sẽ làm suy giảm khả năng cách điện của đèn. Hãy chắc chắn rằng các quạt làm mát của bạn hoạt động tốt. Nếu không, các bộ phận cách điện sẽ bị hỏng, và bạn sẽ lại quay về điểm xuất phát.