Trên sàn sản xuất, độ trôi nhiệt trong quá trình làm khô wafer là điều mà một cell lithography không thể chấp nhận. Ngay cả một vài độ không đồng nhất trên bề mặt photoresist cũng sẽ biểu hiện dưới dạng lỗi chồng lớp và ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất. Chúng tôi đã chế tạo các máy sấy wafer công nghiệp của mình để loại bỏ biến số đó.
Độ chính xác hồng ngoại: Kiểm soát dưới milimét mà bạn có thể tin tưởng
Chúng tôi sử dụng các bộ phát hồng ngoại sóng ngắn qua một hệ thống quang học được thiết kế để định hình trường nhiệt với kiểm soát không gian dưới milimét. Lợi ích là độ đồng nhất nhiệt độ ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C trên toàn bộ cửa sổ quy trình, và tính lặp lại giữ vững từ ca này sang ca khác, từ lô này sang lô khác. Các hồ sơ nướng mềm và nướng cứng giữ ổn định, kiểm soát CD được thắt chặt, và ngân sách nhiệt giữ trong giới hạn quy định. Trong hơn 5,000+ giờ, đầu ra giữ ổn định với độ trôi cường độ dưới 5%, và hệ thống được thiết kế để hoạt động 24/7 mà không có thời gian ngừng hoạt động không kế hoạch.
Tại sao nó phù hợp với quá trình làm khô bán dẫn có năng suất cao
Các máy sấy này được thiết kế dựa trên thực tế của việc làm khô wafer sản xuất: không phát sinh hạt, tương thích với phòng sạch từ Class 1 đến Class 100, và quá trình ổn định nhiệt nhanh chóng giúp cắt giảm thời gian chu kỳ mà không gây áp lực lên các lớp phim. Phản ứng hồng ngoại là ngay lập tức và sạch sẽ, vì vậy dung môi dư thừa được loại bỏ đồng đều, và việc loại bỏ viền cạnh giữ ổn định. Bạn sẽ có các cửa sổ quy trình chặt chẽ hơn, ít phải làm lại hơn, và năng lượng tiêu thụ trên mỗi wafer thấp hơn vì nhiệt được cung cấp theo yêu cầu—không có khối lượng nhiệt lãng phí.
Ghi chú lắp đặt và vận hành
Mong đợi sự tích hợp có kỷ luật. Bộ sưởi phải được căn chỉnh với trục quang học của buồng làm khô, và hệ thống làm mát phải đạt lưu lượng và nhiệt độ được chỉ định. Việc căn chỉnh sai hoặc làm mát không đủ sẽ làm giảm độ đồng nhất. Trước khi lắp đặt, xác nhận khả năng tương thích về điện áp và đầu nối với nền tảng của bạn. Sau đó, lên kế hoạch kiểm tra định kỳ các bộ phát ở khoảng thời gian được khuyến nghị để giữ độ đồng nhất ±0.1°C ở mức cần thiết.