
别再让加热器破坏你的晶圆产出率了
如果你在100级洁净室中工作,那么你肯定已经了解空气过滤的重要性了。但问题在于:真正的“杀手”往往就是那些加热源。
大多数传统的加热元件都会释放出微小的颗粒物,虽然这些颗粒肉眼看不见,但它们会影响到晶圆的质量。这时,我们就需要使用高纯度的合成石英红外灯了。
为什么选择石英材质
我们选择高纯度石英的原因很简单:它在高温下不会碎裂成灰尘。与那些金属外壳的加热器不同,这类灯采用短波红外辐射,热量可以直接作用于目标物体,而不会浪费时间去加热周围的空气。这样一来,就能避免因对流产生的灰尘问题。
此外,我们还在极高的温度下对石英管进行加工处理,从而去除其中的有机残留物。这样,在灯开始工作时,就不会有有害气体释放出来。
占地面积小,但发热效率高
我们设计这款产品的目的是为了追求高效。通过将大量能量集中在一个小空间内,就可以实现所需的加热效果,而不需要占用大量空间来放置巨大的烤箱。
仔细观察电极的密封部分,你会发现我们在这里下了很多功夫。我们使用了特殊的玻璃-金属密封结构,以确保内部的卤素气体不会泄漏。如果密封失效,那么灯就会立刻损坏。我们特意设计了这样的结构,确保在反复启停过程中,密封件不会破裂。
注意事项及解决方案
高纯度石英虽然性能优异,但它也很脆弱。它喜欢高温环境,但极其怕受到撞击。如果在安装过程中不小心处理不当,或者机器有剧烈振动,那么石英管就可能会破裂。因此,必须确保安装支架能够有效缓冲冲击力。
另外,短波红外线的强度很高。请务必确保防护措施能够有效阻挡这种辐射,否则可能会损坏附近的传感器或工具中的塑料部件。