
如果您正在运营100级洁净室,那么您肯定知道产品被污染会带来多大的麻烦。哪怕有极微量的气体泄漏,或者加热元件产生的少量颗粒物,都可能毁掉您的晶圆或光学组件。这真是令人沮丧。
大多数普通红外灯都是问题的根源。它们使用了廉价的热熔胶和密封材料,这些材料在受热后会立即蒸发,从而将污物释放到工作区域内。我们决定解决这个问题。我们的UHP石英灯就是为避免这类问题而设计的。
秘诀就在于材料本身。 我们使用纯度高达99.99%的合成熔融硅石。这不仅仅是为了应对高温,更是为了消除那些会导致“热点”现象的金属杂质,从而避免灯泡过早损坏。
由于采用了高纯度石英材料以及特殊的卤素循环系统,这些灯泡在启动时不会产生任何微小碎片。而且,因为密封部位往往是出问题的地方,所以我们采用了专门的UHP密封工艺,确保没有挥发性有机化合物泄漏到真空腔内。
再来说说功率问题。 根据您所拥有的空间大小,我们可以为这些灯泡配置不同的功率密度。高功率意味着升温更快,但您必须妥善处理散热问题。
有一个建议:如果您在空间有限的情况下使用最大功率,那么请确保您的空气过滤系统能够承受相应的热量。否则,对流作用会使地面上的灰尘飞扬,最终还是回到原来的问题状态。
好消息是,我们提供了多种长度和电压选项。这些灯泡可直接替换现有灯泡,因此您无需拆解控制柜就能使用它们。
保持设备稳定运行。 我们还使用了精密连接器来防止电弧现象。在洁净室中,电弧现象是一种隐蔽的杀手,因为它会产生臭氧和颗粒物,从而降低设备性能。
在安装这些灯泡时,请务必确保接口没有氧化现象。另外,不要等到灯泡完全坏掉才更换它。我们建议根据灯光亮度的下降情况来安排更换时间。这样就能保持温度稳定,避免在生产过程中出现意外停机的情况。