MEMS传感器晶圆干燥加热器

用红外线干燥MEMS晶圆：一种高效的方法 在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是有水滴或溶剂残留物破坏微结构。这需要非常精确的控制。虽然需要让晶圆完全干燥，但也不能简单地用高温来处理它。 因此，我们使用短波红外线加热器。与使用热空气或化学干燥剂相比，红外线可以直接将能量传递到晶圆表面。这种方式...