用红外线干燥MEMS晶圆：一种高效的方法
在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是有水滴或溶剂残留物破坏微结构。这需要非常精确的控制。虽然需要让晶圆完全干燥，但也不能简单地用高温来处理它。
因此，我们使用短波红外线加热器。与使用热空气或化学干燥剂相比，红外线可以直接将能量传递到晶圆表面。这种方式更直接、更高效。
其工作原理
想象一下对流烤箱：它需要先加热空气，再由空气来加热食物。这样会浪费很多时间。而红外线则不同，它能直接作用于晶圆表面的水分子，使其迅速蒸发。这样一来，晶圆几秒钟内就能完全干燥。
最大的优势在于“热处理效率”。由于加热速度很快，晶圆无需长时间暴露在高温下。这样就可以避免晶圆变形或掺杂物质移位的问题。
更环保，也更好保护健康
现在，业界正在逐渐摒弃含铅的焊料以及有害的VOC溶剂。红外线固化技术正好符合这一趋势。这是一种“干式”加工方式，无需处理排放系统中的污染气体，也没有有害的加热元件。只需将设备接通电源，设定合适的波长即可。此外，由于不需要大型风扇来推动热空气，因此也不会有能量损失。
当然，也有一些缺点
不过，这种技术并非完美无缺。高热密度也会带来一些问题。如果温度上升得太快，就有可能导致晶圆受到热冲击。因此，必须妥善控制PID控制器，否则就有可能超过目标温度，从而损坏晶圆。
另外，由于红外线的强度很高，所以必须确保设备的屏蔽措施到位，避免操作人员受到辐射伤害。
我们设计的这些加热器可以轻松替代那些老旧、复杂的加热系统。它们占用的空间更小，能耗也更低。这样，就能在不影响生产速度的情况下，实现绿色生产标准。