Die richtige Temperatur in einer intelligenten Fertigungshalle erreichen
Wenn Sie auf eine Industrie 4.0-Lösung umsteigen, haben Sie vermutlich schon erkannt, dass die alte Methode zur Erwärmung von Wafern nicht mehr ausreicht. Bei der Erwärmung von Wafern sind Infrarot-Systeme die beste Lösung. Sie treffen das Ziel direkt, ohne es berühren zu müssen – und reagieren dabei nahezu sofort.
Kontrolle, die wirklich Sinn macht
In einer digitalen Fertigungshalle sollten die Heizsysteme keine „dummen“ Komponenten sein – sie müssen vielmehr wie Sensoren funktionieren. Unsere Infrarot-Systeme lassen sich problemlos in die PLC-Schaltkreise sowie PID-Controller integrieren. Wir haben sie so konzipiert, dass sie eine lineare Leistung liefern können. Das bedeutet, dass die Software die exakte Leistung in Beziehung zur tatsächlichen Temperatur auf der Waferoberfläche setzen kann. Keine Vermutungen mehr – kein „Hoffen“, dass die Erwärmungsprozesse richtig ablaufen. Sie erhalten eine klare, digitale Übersicht über jeden einzelnen Erwärmungszyklus.
Die Kraft des Kurzwellen-Infrarots
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Emitter, weil sie äußerst effizient sind bei der Übertragung von Energie auf Siliziumwafer. Stellen Sie sich einen Konvektionsofen vor – dieser erwärmt alles. Infrarot hingegen zielt nur auf das Substrat ab und lässt den Rest unberührt. Dadurch werden die Vakuumkammern sowie die Werkzeughüllen nicht zu riesigen Wärmespendern. Zudem ermöglicht die hohe Leistungsdichte es, kleinere Heizgeräte zu verwenden – und dennoch eine hohe Produktivität zu gewährleisten. Das ist ein echter Vorteil.
Eine Warnung: Thermischer Stress
Hier liegt jedoch ein Problem: Schnelligkeit ist zwar gut – doch sie kann auch zu Problemen führen. Wenn man die Erwärmung zu schnell vorantreibt, besteht das Risiko, dass die dünnen Wafer verbogen werden oder thermischer Stress entsteht. Es handelt sich dabei um ein empfindliches Gleichgewicht. Man sollte daher sorgfältig mit der Erwärmungsrate umgehen. Um Unfälle zu vermeiden, empfehlen wir, diese Heizgeräte mit einer Echtzeit-Pyrometerie zu kombinieren. Dadurch wird verhindert, dass die Temperatur zu hoch wird.
Der Umstieg auf intelligente Heizsysteme
Intelligente Fertigungshallen zeichnen sich durch ihre Modularität aus. Unsere Infrarot-Systeme sind als Ersatz für die alten Widerstandsheizgeräte konzipiert. Das Beste daran: Sie sparen Energie. Anstelle davon, ganze Metallstrukturen zu erhitzen, um die Wafer zu erwärmen, heizen Sie nur die Wafer selbst. Dadurch sinkt der gesamte Stromverbrauch. Die Lüftungsanlagen in der Reinraumumgebung müssen nicht mehr übermäßig arbeiten, um die überschüssige Wärme zu beseitigen. alles funktioniert einfach effizienter.