ראו כיצד שבב בגודל 300 ממ יוצא ממכשיר הציפוי. חומר הפוטורזיסט נמצא שם, מוכן לשימוש – ואם תהליך החימום אינו אחיד, לא נפסיד רק שבב אחד. זה גם פוגע ביעילות התהליך כולו. פיתחנו מערכת IR לשבבים בגודל 300 ממ כדי לפתור בעיה זו, וכך להבטיח חימום אחיד בדיוק במקומות הנכונים.
מה באמת חשוב מאחורי הקלעים אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעלי גלים קצרים, כדי לאפשר העברה מהירה וישירה של אנרגיה. כך נשמרת אחידות הטמפרטורה על רמה של ±0.1°C בכל שטח השבב, וזה נשמר ממחזור למחזור. המערכת תואמת חדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והיא פועלת ללא שום חלקיקים, כך שהחדר נשאר נקי.
זה חשוב מאוד בתהליכי ליתוגרפיה – זה מסייע לשמור על שליטה בטמפרטורה בשלבים הרגישים ביותר של התהליך. כאשר האחידות גבוהה, השליטה בממדים הקריטיים נשמרת, והפגמים פוחתים. התגובה התרמית היא מהירה, כך שזמן התהליך פוחת.
הגלאים מיועדים לפעול באופן רציף במשך 5,000 שעות ויותר, מה שאומר פחות בעיות ופחות זמן לניקוי הציוד.
מה צריך לתכנן המערכת יכולה להתחבר בקלות לתהליכים הקיימים, אך היא דורשת מקור אנרגיה ומערכת קירור משלה. יש לתכנן אספקת חשמל של 240V, בשלושה פאזות, בתוספת מים מדיוניזציה לצורך קירור, כדי לשמור על יציבות תרמית בעומס מתמשך.
היתרון הוא ברור: שליטה חוזרת ונשנית בתהליך, יום אחר יום.