על רצפת הייצור, הסטייה התרמית במהלך ייבוש הוופרים היא הדבר היחיד שכלאי ליתוגרפיה פשוט לא יכולים להרשות לעצמם. אפילו כמה מעלות של חוסר אחידות על פני...

Out on the lithography floor, a wafer comes out of the clean bath soaking wet. If the IR dryer can’t keep up, you’re left with...