Sensor suhu untuk alat pemrosesan wafer
Pemanasan IR vs. Udara Panas: Mengapa Alat Pengolahan Wafer Anda Berjalan Lambat Jika Anda masih menggunakan sistem pemanasan udara panas untuk...
Pabrik pita termal suhu tinggi
Di area produksi yang menggunakan teknologi fotorezist ini, kita tahu betapa cepatnya perubahan suhu sebesar 0,5°C selama proses pemanasan fotorezist...
Suhu yang seragam untuk wafer berukuran 300 mm menggunakan teknik IR.
Lihatlah bagaimana wafer berukuran 300 mm keluar dari alat pelapis tersebut. Lapisan fotoresistnya sudah siap untuk diproses selanjutnya. Jika proses...