キャンプ用電気ヒーター
風が強くなり、太陽が木々の後ろに隠れると、キャンプ場は一変して寒くなってしまいます。通常のヒーターでは、暖かい空気を周囲に送り出すだけで、そのエネルギーの多くが無駄になってしまいます。必要なのは、すぐに効果的に熱を与え、自然な感覚をもたらし、電力を無駄にしないヒーターです。
ヒーターの内部構造 私...
フォトレジスト剥離用サポートヒーター
リソグラフィーの工程においては、フォトレジスト処理室の温度が不安定になることは許されません。温度のばらつきは、残留物やパターンの損傷といった問題を引き起こし、その結果、回復不可能な損失が生じます。私たちは、プロセス温度を一定に保つためのヒーターを開発しました。そうすることで、化学反応が適切に進行し...
デスクヒーターの下
冬になると、オフィスはまるで個人用の冷凍庫のようになってしまいます。大きなヒーターを使うのは過剰ですし、小さなファンでは全く役に立ちません。足がしびれたり、手首が硬直したりして、集中力も失われてしまいます。
デスク下に設置できる赤外線ヒーターなら、状況が変わります。部屋全体を温めるのではなく、人を...
省エネ型のヒーター
もし、冬の夜に快適さと電気代の間で悩んでいるのであれば、選ぶヒーターが重要になってきます。電気式オイルラジエーターは、まず空気を温めてから、その温かい空気を部屋中にゆっくりと広げていきます。一方、赤外線ヒーターは、太陽のように、直接人や物体に熱を与えます。この違いにより、すぐに暖かさを感じることが...
ゴールドチューブ式赤外線ヒーター
涼しい夜でも、暖かさが必要な場所に届かないと、状況は一変してしまいます。快適な空間を期待して屋外用の部屋に入ったのに、実際には足元が冷たく、顔だけが熱くなってしまいます。従来のヒーターは、空気を吹き出したり、熱を一点に集中させたりすることでエネルギーを無駄にしてしまいます。私たちは、その問題を解決...
ポータブルファンヒーター
ワークショップや風の強いオフィスでは、寒さは人々を不快にさせるだけでなく、あらゆる作業の効率も低下させます。部屋が温まるのを待つだけで数分も無駄になりますし、暖かさも均一ではありません。一部の場所は依然として寒く、一方で他の場所は暑すぎます。この携帯用ファンヒーターを使えば、必要な場所に迅速かつ効...
衣類乾燥ヒーター
室内での乾燥は、快適な部屋を湿気た、寒々しい場所に変えてしまいます。しかし、衣類用乾燥ヒーターなら、その問題を解決してくれます。このヒーターは、特定の範囲に集中した熱を発生させるため、布地から水分を素早く取り除くことができ、部屋全体が蒸し暑くなることもありません。
技術的な仕組みとしては… この装...
中波クォーツヒーターチューブ
製造現場では、フォトレジストの焼成処理を単なる加熱工程として扱うことはありません。それは、ウェーハの寸法を制御するための重要な手段なのです。ソフトベイクやハードベイク時に2℃程度の偏差が生じると、CDの位置が変わったり、界面に汚れが残ったりして、各シフトごとに歩留まりが不安定になってしまいます。こ...
高温用サーマルテープ製造工場
フォトレジストの焼成時に0.5℃というわずかな温度変動があっただけで、製品の寸法が狂い、大量のロスが発生してしまいます。私たちは、このような不確実性を排除するために、高温用のサーマルテープを使用したファブシステムを開発しました。
技術的に重要な点 このシステムは、短波赤外線とフィードバック制御機能...
ハロゲン式パティオヒーター
本を読みながらくつろいでいると、すぐに寒さを感じます。指が硬直し、肩も上がってしまい、物語の内容もはっきりと読めなくなります。しかし、ハロゲン式のパティオヒーターなら、一瞬でその状況を解決してくれます。即座に熱が届き、寒い場所を快適な場所に変えてくれます。
このヒーターは、短波赤外線エネルギーを放...
携帯用産業用ヒーター
朝、冷たいバスルームの床に足を踏み入れると、それは単なる不快感以上のものです。まるで衝撃を受けたような感覚です。狭いバスルームでも広い家族用バスルームでも、暖房の必要量は大きく変わります。過度に大きなものを使えばエネルギーが無駄になり、逆に小さすぎると依然として寒さを感じます。解決策は簡単です。ポ...
ファブ向け 最高評価のRTPランプ
製造現場では、フォトレジストの加熱処理において0.5℃のばらつきがあっただけで、そのロット全体が廃棄されてしまいます。私たちは、このような不確実性を排除するためにRTPランプを開発しました。これにより、ソフトベイク、ハードベイク、急速熱処理といった各工程においても、粒子の発生リスクなしに安定した処...
ガレージヒーター
オフグリッドの環境では、太陽が沈んだ後はガレージが夜間の活動の中心となります。作業を完了させたり、工具が濡れないようにしたり、工房を使い続けるためには、一晩中発電機を動かす必要はありません。そこで役立つのが赤外線ガレージヒーターです。これは、空気を温めるのではなく、直接人や物を温める放射熱を放ちま...
300mmウェーハに対する均一な加熱 IR方式
300mmウェーハがスピンコーターから取り出される様子を見てみましょう。フォトレジストはそこにあって、すぐに処理を開始できる状態です。もし加熱が均一でなければ、1枚のウェーハだけを失うだけではありません。生産効率も低下し、リソグラフィーシステム全体の熱管理にも影響が出ます。私たちは、この問題を解決...
ウェーハバーンイン試験用加熱ランプ
製造現場において、熱源が不安定であれば、バーンイン処理の効果は全く期待できません。チャックの位置が数度でもずれると、品質の悪いデバイスが出来上がってしまったり、良品が捨てられてしまうことになります。私たちは、このような不安定性を解消するために、このバーンイン用ランプを開発しました。
内部構造が重要...