ウェーハ加熱時の安全距離
なぜ無鉛半導体の製造に赤外線硬化を採用するのか
半導体の製造方法が変わりつつあります。私たちは、有害な溶剤を使う乾燥装置や重金属触媒を使う方法から、徐々に離れていっています。
ほとんどの人々が赤外線硬化を採用しています。なぜでしょうか?それは理にかなっているからです。部屋全体を加熱したり、化学添加...
交換用ヒーター要素 IP65
なぜ、あなたの「防水」とされているIRヒーターが頻繁に故障するのか? IP65等級についての真実は、高温になるとその評価は嘘になってしまうということです。 もし標準的な密封材を使っている場合、室温で棚の上に置かれている間はほこりや水を防げます。しかし、クォーツ管やハロゲン管が動き出すと、その安価な...
省エネ型半導体ヒーター
ヒーターがウェーハの品質を損なうのを防ぎましょう クラス100のクリーンルームを運営しているなら、空気浄化の重要性はご存知でしょう。しかし、実際には、ヒーターこそが静かな敵となっていることが多いのです。
ほとんどの標準的な加熱要素は、使用中に微細な粒子を放出します。それらは目に見えないものですが、...
ウェーハバーンイン試験用加熱ランプ
製造現場において、熱源が不安定であれば、バーンイン処理の効果は全く期待できません。チャックの位置が数度でもずれると、品質の悪いデバイスが出来上がってしまったり、良品が捨てられてしまうことになります。私たちは、このような不安定性を解消するために、このバーンイン用ランプを開発しました。
内部構造が重要...