もう、温風を使うのはやめよう：なぜ私たちは金コーティングされた赤外線ランプに切り替えたのか もし、温風を利用した加熱処理を経験したことがあるなら、その手順はわかるでしょう。空気を加熱し、その空気が部品を温めるのを待つのです。半導体の高度な加工では、この遅れが致命的です。とても非効率的です。 私たち...

涼しい夜でも、暖かさが必要な場所に届かないと、状況は一変してしまいます。快適な空間を期待して屋外用の部屋に入ったのに、実際には足元が冷たく、顔だけが熱くなってしまいます。従来のヒーターは、空気を吹き出したり、熱を一点に集中させたりすることでエネルギーを無駄にしてしまいます。私たちは、その問題を解決...

製造現場では、フォトレジストの焼成処理を単なる加熱工程として扱うことはありません。それは、ウェーハの寸法を制御するための重要な手段なのです。ソフトベイクやハードベイク時に2℃程度の偏差が生じると、CDの位置が変わったり、界面に汚れが残ったりして、各シフトごとに歩留まりが不安定になってしまいます。こ...