乾燥段階での火災の心配は不要です。 化学処理後にウェーハや部品を乾燥させるとき、それはまさに火遊びに等しい行為です。空気中にはVOCや可燃性の蒸気が漂っており、通常の赤外線ランプでは危険が伴います。わずかな火花やクォーツ管の微細なひび割れでも、大惨事につながります。 私たちはより良い方法を見出しま...

赤外線を使ったMEMSウェーハの乾燥：効率的な方法 MEMSセンサーを製造する際に最も避けたいのは、わずかな水分や溶剤の汚れが微細な構造を壊してしまうことです。これは非常に微妙なバランスが求められます。ウェーハを完全に乾燥させる必要がありますが、単純に熱を当ててみるだけでは不十分です。 そのため、...

はじめに さっそく本題に入りましょう。この赤外線加熱ランプは、ウェーハを効果的に乾燥させるという特定の目的のために作られました。 有名ブランド製品と同じく、強力で安定した加熱性能を提供しますが、その分の高価な価格はかかりません。ロゴのために余計なお金を払いたくない、信頼性の高い性能が求められるエン...

室内での乾燥は、快適な部屋を湿気た、寒々しい場所に変えてしまいます。しかし、衣類用乾燥ヒーターなら、その問題を解決してくれます。このヒーターは、特定の範囲に集中した熱を発生させるため、布地から水分を素早く取り除くことができ、部屋全体が蒸し暑くなることもありません。 技術的な仕組みとしては… この装...

ファブフロアにおけるウェハ乾燥中の熱ドリフト ウェハ乾燥中の熱ドリフトは、リソグラフィセルが絶対に許容できないものです。フォトレジスト表面における数度の不均一性が、オーバーレイ誤差として表れ、歩留まりに直結します。私たちは、この変数を排除するために、産業用ウェハ乾燥ヒーターを設計しました。 赤外線...

リソグラフィフロアでは、ウェハーが洗浄浴から濡れたまま取り出される。IRドライヤーが追いつかなければ、ウォーターマークが残り、フォトレジストが付着せず、生産ラインは停止する。私たちは、そのような故障を未然に防ぐために、ウェハードライ用の赤外線ヒーターを設計した。 内部構造の重要ポイント 短波長赤外...