클린룸을 실제로 깨끗하게 유지하기 위한 방법: 적외선 가열의 진실 클래스 100급 클린룸을 운영하는 분들이라면, 미세먼지가 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 잘 아실 것입니다. 아주 작은 먼지 한 알이나 가스가 조금만 발생해도 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다. 문제는...

히터가 웨이퍼의 품질을 해치는 것을 막으세요. 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 공기 여과에 대해서는 이미 잘 알고 있으실 것입니다. 하지만 문제는, 열원들이 사실상 웨이퍼의 품질을 해치는 주범이라는 점입니다. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 먼지를 발생시킵...

왜 우리는 이제 대류식 오븐을 사용하지 않는가? 오랫동안 우리는 모든 부품들을 큰 대류식 오븐에 넣고 그냥 최선을 기대했습니다. 하지만 이제는 상황이 변하고 있습니다. 대부분의 반도체 제조업체들은 강제 공기 순환 방식 대신 적외선을 이용한 치료 방식을 사용하고 있습니...

서론 간단히 말해보죠. 반도체 제조 공장에서 히터는 단순한 부품이 아닙니다. 그것은 바로 ‘엔진’과 같은 존재입니다. 우리는 가장 중요한 문제를 해결하기 위해 테플론으로 절연된 히터 와이어를 개발했습니다. 그 목적은 바로, 모든 열 에너지를 웨이퍼에 정확하게 전달하는...

웨이퍼 플로어에서 베이크 단계와 접착제 경화는 라인 수율을 좌우하는 중요한 요소다. 하드 베이크 프로파일에서 1.5°C의 편차가 발생하면 200mm 웨이퍼 다수를 폐기해야 할 수 있다. 레시피가 요구하는 정확한 위치에 열이 전달되어야 하며, 교대 근무마다 일정해야 한...

Role 당사 클린룸 현장에서 웨이퍼 검사 중 온도 편차는 치명적인 치수 변화를 일으키고, 다량의 불량을 초래하며, 수시간에 달하는 리소그래피 시간을 소모시킬 수 있다. 이를 방지하기 위해 검사 장비용 히터를 설계했다. 단파 적외선을 사용해 서브밀리미터 수준의 균일성...