엘립소미터 웨이퍼 프로브 히터

팹에서는 엘립소미터 측정 데이터의 가치는 프로브의 온도에 따라 결정됩니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변화가 있어도 포토레지스트의 두께와 CD 값이 변하게 되고, 그로 인해 웨이퍼가 실패할 수 있습니다. 저희는 이러한 온도 변동을 전혀 허...