클린룸 오븐 적외선 히터

Fab 라인에서 소프트 베이크 온도가 2℃만 변해도 치수 편차가 발생해 많은 웨이퍼가 불량 처리된다. 이를 해결하기 위해 우리가 IR 히터를 탑재한 클린룸 오븐을 설계했으며, 이를 통해 리소그래피가 요구하는 정확한 온도 제어를 구현했다. 다음은 기술적 핵심이다. 단파...