엘립소미터 웨이퍼 프로브 히터
팹에서는 엘립소미터 측정 데이터의 가치는 프로브의 온도에 따라 결정됩니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변화가 있어도 포토레지스트의 두께와 CD 값이 변하게 되고, 그로 인해 웨이퍼가 실패할 수 있습니다. 저희는 이러한 온도 변동을 전혀 허...
300mm 웨이퍼용 균일한 열 처리 IR
300mm 웨이퍼가 스핀 코터에서 나오는 과정을 확인해 보세요. 포토레지스트가 그 자리에 있으며, 이제 설정될 준비가 되어 있습니다. 만약 가열 과정이 균일하지 않다면, 단순히 하나의 웨이퍼만 손실되는 것이 아닙니다. 전체 리소그래피 장비의 성능도 저하됩니다. 우리는...
웨이퍼 손상 테스트용 가열 램프
제조 현장에서는, 열원의 위치가 불안정하다면 ‘버닝인’ 과정도 아무런 의미가 없습니다. 척의 위치가 몇 도만 틀어져도, 성능이 불량한 칩들이 생기거나, 양질의 칩들이 폐기되게 됩니다. 우리는 이러한 변동성을 해결하기 위해 이러한 버닝인 램프를 개발했습니다.
핵심은 무...