팹용으로 가장 높은 평가를 받는 RTP 램프

팹 내에서는 포토레지스트를 가열할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 전체 생산량이 폐기될 수 있습니다. 저희는 그러한 불확실성을 없애기 위해 RTP 램프를 개발했습니다. 이 램프는 부드러운 가열, 강력한 가열, 그리고 빠른 열처리 과정에서도 입자 발생 위험 없이...