중파 석영 히터 튜브

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정을 단순한 열처리 단계로 여기지 않습니다. 이는 치수 제어에 매우 중요한 요소입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생겨도, CD의 형상이 변하고 인터페이스에 스컴이 생길 수 있으며, 그로 인해 생산...