300mm 웨이퍼용 균일한 열 처리 IR

300mm 웨이퍼가 스핀 코터에서 나오는 과정을 확인해 보세요. 포토레지스트가 그 자리에 있으며, 이제 설정될 준비가 되어 있습니다. 만약 가열 과정이 균일하지 않다면, 단순히 하나의 웨이퍼만 손실되는 것이 아닙니다. 전체 리소그래피 장비의 성능도 저하됩니다. 우리는...