MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

적외선을 이용한 MEMS 웨이퍼의 건조: 효과적인 방법 MEMS 센서를 제작할 때 가장 원하지 않는 것은 미세한 수분이나 용매로 인해 미세구조가 손상되는 것입니다. 이는 매우 섬세한 균형이 필요한 작업입니다. 웨이퍼를 완전히 건조시켜야 하지만, 단순히 열을 가하는 방...