IR 가열과 열공기 가열의 차이점: 왜 웨이퍼 처리 속도가 느린가? 만약 여전히 반도체 정밀 가공에 열공기를 사용하고 있다면, 아마도 대기하는 데 너무 많은 시간을 낭비하고 있을 것입니다. 열공기 가열은 대류 방식을 이용하기 때문에, 웨이퍼가 따뜻해지기 전에 먼저 챔...

팹 현장에서는, 포토레지스트를 소성할 때 0.5°C라는 미세한 온도 변화만으로도 치명적인 문제가 발생할 수 있으며, 그로 인해 많은 양의 제품이 폐기되게 됩니다. 우리는 이러한 불확실성을 없애기 위해 고온용 열전달 테이프를 사용하는 팹 시스템을 개발했습니다. 기술적으...