에너지 절약형 반도체 히팅

히터가 웨이퍼의 품질을 해치는 것을 막으세요. 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 공기 여과에 대해서는 이미 잘 알고 있으실 것입니다. 하지만 문제는, 열원들이 사실상 웨이퍼의 품질을 해치는 주범이라는 점입니다. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 먼지를 발생시킵...