Giriş Doğrudan konuya girelim. Bu kızılötesi ısıtma lambasını belirli bir amac için ürettik: Wafleri etkili bir şekilde kurutmak. Bu lamba, pahalı...

300 mm’lik wafersin spin koaterdan nasıl çıktığını izleyin. Fotoresist orada, kullanıma hazır halde duruyor. Eğer ısıtma işlemi eşit olmazsa, sadece...

Üretim alanında, ısı kaynağı istikrarsız olduğunda “burn-in” sürecinin hiçbir anlamı kalmaz. Chuck üzerindeki sıcaklıkta meydana gelen küçük...