Trên sàn sản xuất, một biến động nhiệt độ trong quá trình kiểm tra wafer có thể làm thay đổi kích thước quan trọng, hủy cả lô và tiêu tốn nhiều giờ cho quá trình lithography. Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt cho thiết bị kiểm tra nhằm ngăn chặn tình trạng đó ngay từ đầu. Thiết bị sử dụng hồng ngoại sóng ngắn để tạo ra trường nhiệt với độ đồng đều dưới milimet và độ ổn định có thể tái lập — hoàn toàn phù hợp với giới hạn ngân sách nhiệt của các node hiện đại.
Điều quan trọng bên trong Trung tâm là mảng phát xạ hồng ngoại có độ đồng đều ở mức wafer ±0.1°C, và độ lặp lại nhiệt độ được duy trì chặt chẽ qua các ca làm việc. Biểu đồ nhiệt của bộ gia nhiệt hỗ trợ rõ ràng cho quá trình soft bake và hard bake mà không bị vượt nhiệt, giúp bảo vệ tính toàn vẹn của lớp photoresist và kiểm soát hiệu ứng sóng đứng. Khả năng tương thích với phòng sạch không phải là điều bổ sung — môi trường Class 1–100 không phát sinh hạt bụi, và vật liệu được kiểm soát phát thải để tránh ô nhiễm. Việc cung cấp điện được hiệu chỉnh cho chu kỳ hoạt động 24/7, do đó sai số nhiệt nằm trong giới hạn ngay cả sau hàng nghìn lần vận hành.
Lý do thiết bị phù hợp với công đoạn kiểm tra Tại các trạm kiểm tra, nhiệt độ nền ổn định đồng nghĩa với tín hiệu nhất quán, phân loại lỗi có thể tái lập và giảm thiểu lỗi gọi sai. Hiệu suất nung photoresist ổn định, cửa sổ quy trình được thu hẹp và giảm thiểu công việc sửa lại. Tiêu thụ năng lượng giảm nhờ bộ gia nhiệt đạt điểm cài đặt nhanh và duy trì ổn định mà không cần chạy lại nhiều lần. Độ tin cậy thể hiện qua việc giảm can thiệp, ít thời gian chết ngoài kế hoạch và các khoảng thời gian bảo trì định kỳ có thể lên lịch chính xác.
Những điều cần chuẩn bị Bộ gia nhiệt cần tích hợp cơ khí và nguồn điện riêng biệt theo từng thiết bị. Lên lịch một khoảng thời gian chạy thử ngắn với đội ngũ hiện trường của chúng tôi để đồng bộ bố cục bộ phát xạ với hình học của stage. Trong các cell kiểm tra nhỏ gọn, cần chấp nhận một sự đánh đổi về diện tích — chúng tôi ưu tiên hiệu suất nhiệt trước rồi mới điều chỉnh kích thước. Khi đã căn chỉnh xong, hệ thống hoạt động với mức hiệu chuẩn tối thiểu, giữ cho quy trình kiểm tra của bạn luôn trong tầm kiểm soát.