红外加热与热空气加热：为何您的晶圆加工效率如此低下？ 如果您仍在使用热空气循环方式来进行半导体深度加工，那您很可能要花费大量时间在等待上。 因为热空气加热依靠的是对流原理——必须先加热整个腔室内的所有空气，才能让晶圆开始升温。这个过程极其缓慢，会大大浪费时间。 时间就是关键。 而红外加热则完全不同...

防止红外灯损坏您的晶圆 在大规模半导体生产中，如果红外灯发生故障，那可不仅仅是令人头疼的问题，更会导致生产中断。这简直就是一场灾难。 当石英壳破裂时，玻璃碎片和金属颗粒会掉落到晶圆上，从而造成严重的污染。这种状况是绝对不能发生的。正因如此，我们才采用特殊方式来设计红外传感器和加热灯。 防止污染扩散...

别让加热器毁掉你的氢传感器 如果你曾在100级洁净室工作过，就会明白其中的压力有多大。哪怕只有一粒微小的灰尘——那种肉眼根本看不见的粒子——就足以让整批氢传感器报废。 问题在于，大多数加热元件其实都是“污染源”。它们在受热时会出现剥落或释放出有害气体的情况。对于那些极其敏感的传感器来说，这无疑是个...

在清洁流程中，如何确保设备的安全性？ 说实话，将红外加热器放入化学清洗环境中，就如同玩火一般危险。周围充满了易燃蒸汽，还有那些会腐蚀一切物质的化学品。普通的红外灯根本无法应对这种情况——它只会成为安全隐患。 为了解决这个问题，我们不会仅仅把红外线灯安装进去，而是会给它加上一个智能的、密封性良好的外...

用红外线干燥MEMS晶圆：一种高效的方法 在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是有水滴或溶剂残留物破坏微结构。这需要非常精确的控制。虽然需要让晶圆完全干燥，但也不能简单地用高温来处理它。 因此，我们使用短波红外线加热器。与使用热空气或化学干燥剂相比，红外线可以直接将能量传递到晶圆表面。这种方式...