ফ্যাব ফ্লোরে, সফট বেকের ২℃ ড্রিফটই যথেষ্ট ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন পরিবর্তন করে এবং অনেক লট নষ্ট করে দিতে পারে। আমরা এই ক্লিনরুম ওভেনটি ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করে তৈরি করেছি যাতে সেই পরিবর্তনীয়তা দূর হয় এবং আপনাকে থার্মাল কন্ট্রোল দেয় যা লিথোগ্রাফি প্রকৃতপক্ষে দাবি করে।
এখানে এর প্রযুক্তিগত মূল অংশ। শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এলিমেন্ট সরাসরি লোডে এনার্জি পাম্প করে, ফলে থার্মাল ল্যাগ কমে এবং তাপমাত্রা দ্রুত স্থিতিশীল হয়। হিটেড জোন জুড়ে আপনি ±0.1℃ এর ইউনিফর্মিটি ধরে রাখতে পারেন, এবং সেটপয়েন্ট স্থিতিশীলতা ক্রমাগত সাইক্লিং এর মধ্যে বজায় থাকে।
হিটার বডি এবং ফিক্সচারের স্পেসিফিকেশন ক্লাস 1–100 ক্লিনরুম ব্যবহারের জন্য—লো-আউটগ্যাসিং ম্যাটেরিয়াল এবং এমন ডিজাইন যা steady state এ পৌঁছানোর পর পার্টিকেল ছাড়ে না। ফটোরেসিস্ট বেক প্রোফাইল—সফট বেক এবং হার্ড বেক—স্পেসিফিকেশনের মধ্যে থাকে, যা ইয়েল্ড বাড়ায় এবং স্ক্র্যাপ কমায়।
ওয়াফার প্রসেসিংয়ে থার্মাল বাজেট সীমিত। এই হিটার আন্তর্জাতিক সেমিকন্ডাক্টর ইকুইপমেন্ট স্ট্যান্ডার্ড দ্বারা দাবিকৃত প্রিসিশন পূরণ করে, তাই এটি ওভেন আপগ্রেড এবং রেট্রোফিটের জন্য ভ্যালিডেটেড, সমতুল্য বিকল্প হিসেবে কাজ করে।
আপনি পাবেন দ্রুত র্যাম্প-টু-সোক, বেশি সংকীর্ণ CD কন্ট্রোল, এবং কম শক্তি ব্যবহার কারণ রূপান্তর দক্ষতা বেশি এবং স্ট্যান্ডবাই লস কম। এটি ২৪/৭ চালু থাকে কোনো অনির্ধারিত ডাউনটাইম ছাড়াই, এবং শিফট-বাই-শিফট, টুল-বাই-টুল পুনরাবৃত্তিমূলক ফলাফল দেয়।
এখন, ব্যবহারিক দিক। রেট্রোফিট করার সময় ওভেন চেম্বার জ্যামিতি, এয়ারফ্লো প্যাটার্ন এবং আপনার পাওয়ার ও কন্ট্রোল ইন্টারফেসগুলো লক্ষ্য রাখতে হবে। হিটারটি সেরা পারফর্ম করে যখন লোড কনসিসটেন্ট থাকে এবং বেক রেসিপিটি শুধু ওভেন সেটপয়েন্টে নয়, বাস্তব ওয়াফার স্ট্যাকের উপর ভিত্তি করে অ্যাঙ্কর্ড থাকে।
প্রোফাইল লক করতে একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং রান পরিকল্পনা করুন, তারপর প্রোডাকশনে যাওয়ার আগে ক্লিনরুম পার্টিকেল কাউন্ট যাচাই করুন।