ফ্যাব ফ্লোরে, এলিপ্সোমেট্রি ডেটার মূল্য নির্ভর করে প্রোবের তাপমাত্রার উপর। সফট বেক বা হার্ড বেকের সময় ১°C এর মতো তাপমাত্রা পরিবর্তন হলে ফটোরেজিস্টের পুরুত্ব ও CD-এর মান পরিবর্তিত হয়; ফলে ওয়েফারটি কাজ করতে অক্ষম হয়ে যায়। আমরা এমন এলিপ্সোমেট্রি প্রোব হিটার তৈরি করেছি, যা এই ধরনের তাপমাত্রা পরিবর্তনগুলোকে সহ্য করতে পারে। ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যেই থাকে; ফলে রিডিংগগুলো প্রক্রিয়ার অবস্থাকেই প্রতিফলিত করে, তাপমাত্রা পরিবর্তনগুলোকে নয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
হিটারটি কম-থার্মাল-মাস বিশিষ্ট, NIR-অপ্টিমাইজড উপাদান এবং কোয়ার্টজ থার্মাল পাথ ব্যবহার করে; এর ফলে চাকে বা ওয়েফারের উপর কোনো তাপমাত্রা পার্থক্য থাকে না। ২৫°C থেকে ৩০০°C পর্যন্ত তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যেই থাকে; র্যাম্প কন্ট্রোলের ফলে ফটোরেজিস্টের তাপমাত্রা নির্ধারিত স্তরেই থাকে। ক্লিনরুম নিয়মগুলোও মেনে চলা হয়—ক্লাস ১–১০০ সামঞ্জস্যপূর্ণ উপাদান ও সিল ব্যবহৃত হয়; ডিজাইনটি স্থিতিশীল অবস্থায় বা চক্রাকার প্রক্রিয়ার সময় কোনো কণা নির্গত করে না। ৫,০০০+ ঘন্টা ধরে আউটপুটটি স্থিতিশীল থাকে; নিরন্তর কার্যক্রমের সময় ইন্টেনসিটির পরিবর্তন ৫% এর কম থাকে।
লিথোগ্রাফিতে এর কার্যকারিতা
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, প্রোব হিটারটি মাপন বিন্দুতে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে হার্ড বেকের পর ঘটে যাওয়া তাপমাত্রা-সংক্রান্ত সমস্যাগুলো দূর হয়। সফট বেকের পুনরাবৃত্তি সঠিক হওয়ার ফলে প্রক্রিয়াটি আরও ভালো হয়; এলিপ্সোমেট্রি আসল অবস্থাই দেখতে পায়। এর ফলে ত্রুটি কমে যায়, CD-এর নিয়ন্ত্রণ আরও ভালো হয়, এবং চক্রাকার প্রক্রিয়ার সময়ও কমে যায়। দ্রুত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ও কম স্ট্যান্ডবাই লসের ফলে শক্তি সাশ্রয় হয়; আবার নির্ভুলতাও বজায় থাকে।
কী ঠিক করা দরকার?
এই ডিভাইসটির জন্য পরিষ্কার, ফিল্টারযুক্ত বিদ্যুৎ সরবরাহ এবং প্রোব ইন্টারফেসের সাথে নির্ভুল যান্ত্রিক সামঞ্জস্য প্রয়োজন। ভুল সামঞ্জস্যের ফলে মাইক্রন-স্তরে তাপমাত্রা অসমানতা দেখা দেয়। এটি স্ট্যান্ডার্ড টুল ইন্টারফেসগুলোর সাথে সংযুক্ত হতে পারে; কিন্তু এলিপ্সোমেট্রি স্টেজের জন্য কানেক্টর ও মাউন্টিং নির্ধারণ করতে হবে। ওয়েফার স্ট্যাকের জন্য PID কনস্ট্যান্টগুলো সামঞ্জস্য করার জন্য অল্প সময়ের জন্য টেস্ট করা দরকার।