ফ্যাব ফ্লোরে, যদি তাপ উৎসটি অস্থিতিশীল হয়, তাহলে “বার্ন-ইন” প্রক্রিয়ার কোনো মানেই থাকে না। চাকের অবস্থানে কয়েক ডিগ্রির পরিবর্তন ঘটলেই ভালো ডিভাইসগুলো নষ্ট হয়ে যায়। আমরা এই ধরনের ল্যাম্পগুলো তৈরি করেছি, যাতে এই ধরনের অস্থিতিশীলতা দূর হয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ আবরণের ভিতরে শর্ট-ওয়েভ হ্যালোজেন উপাদান ব্যবহার করি; এগুলো তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে। এর ফলে অ্যাক্টিভ বেক জোনে ±0.1°C এর মধ্যে সমানতা বজায় থাকে। এছাড়া, প্রতিবার বেকিং প্রক্রিয়া সমানভাবে সম্পন্ন হয়। এই সিস্টেমটি ক্লাস ১ থেকে ক্লাস ১০০ ধরনের ক্লিনরুমে সহজেই ব্যবহার করা যায়; স্থিতিশীল অবস্থায় এটা কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন করে না। ২৪/৭ কাজ করার পরও আউটপুটটি স্থিতিশীল থাকে; ৫,০০০ ঘণ্টা পরেও তাপমাত্রার পরিবর্তন ৩% এর কম থাকে। ফলে আপনার তাপীয় ব্যয় নিয়ন্ত্রণে থাকে।
“বার্ন-ইন” প্রক্রিয়ায় এর ভূমিকা
“বার্ন-ইন” প্রক্রিয়ার জন্য দরকার দ্রুত ও স্থিতিশীল তাপ; আর এই ধরনের ল্যাম্পগুলো দ্রুত নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছায়, তাপীয় অস্থিতিশীলতা কমায়, আর ফটোরেজিস্টের ক্ষতি রোধ করে। এর ফলে পুনর্কাজের প্রয়োজন কমে যায়, অপ্রয়োজনীয় অংশগুলো কমে যায়, আর প্রথমবারেই ভালো ফলাফল পাওয়া যায়। আমরা দক্ষ রেডিয়েন্ট কাপলিং ও কঠোর তাপীয় নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে শক্তি ব্যবহার নিয়ন্ত্রণ করি; ফলে কার্যক্ষমতা বজায় থাকে আর খরচ কমে যায়।
কিছু গুরুত্বপূর্ণ তথ্য
এই ল্যাম্পগুলো স্ট্যান্ডার্ড বার্ন-ইন ফিক্সচার ও প্রোব স্টেশনে ব্যবহার করা যায়; কিন্তু ওয়েফারের সাথে এগুলোর সঠিক অবস্থান অপরিহার্য। মাউন্টিং টলারেন্স ও রিফ্লেক্টরের জ্যামিতি খুবই নির্ভুল হওয়া উচিত—সামান্য যান্ত্রিক পরিবর্তনও সমানতাকে নষ্ট করতে পারে। আপনার নির্দিষ্ট ক্যারিয়ার ও ওয়েফার স্ট্যাকের জন্য তাপীয় প্রোফাইল নির্ধারণ করার জন্য অবশ্যই একটি সংক্ষিপ্ত টেস্ট করা উচিত।