چرا ما از روش خشککردن با امواج مادون قرمز برای نیمههادیهای بدون سرب استفاده میکنیم؟
روش تولید نیمههادیها در حال تغییر است. ما در حال کنار گذاشتن آن فرآیندهای خشککردن مبتنی بر حلالها و کاتالیزورهای فلزی هستیم.
اکثر ما به سمت روش خشککردن با امواج مادون قرمز روی آوردهایم. چرا؟ چون این روش منطقیتر است. به جای گرم کردن کل اتاق، امواج مادون قرمز مستقیماً به سطح ویفر تأثیر میگذارند. این روش مستقیم و بدون آلاینده است.
نحوه انتقال انرژی
میتوانید این روش را اینگونه تصور کنید: روش خشککردن با امواج مادون قرمز از تابش الکترومغناطیسی برای حرکت دادن مولکولهای موجود در فتورزیست یا چسب استفاده میکند.
فرهای معمولی سرعت کمی دارند؛ زیرا ابتدا باید هوا را گرم کنند. اما لامپهای مادون قرمز این مرحله را نادیده میگیرند؛ آنها انرژی را مستقیماً به ویفر منتقل میکنند. این به این معناست که دیگر نیازی به استفاده از حلالهای آلی نیست؛ زیرا این حلالها در حین فرآیند خشککردن گازهای سمی تولید میکنند. علاوه بر این، اگر طول موج لامپ را متناسب با ماده مورد استفاده تنظیم کنید، از اتلاف انرژی جلوگیری خواهید کرد.
فاصله مناسب برای گرم کردن ویفر
در مورد گرم کردن ویفر، فاصله بسیار مهم است. اگر لامپها را خیلی نزدیک قرار دهید، مشکلاتی پیش خواهد آمد؛ زیرا نقاط داغی روی ویفر ایجاد خواهد شد. اما اگر لامپها را خیلی دور قرار دهید، زمان گرم شدن ویفر افزایش خواهد یافت.
این یک تعادل دشوار است؛ باید فاصله مناسبی پیدا کنید تا گرمای منتشر شده یکنواخت باشد، اما شدت گرما همچنان بالا باشد. به یاد داشته باشید که فاصله کمتر به معنای گرمای بیشتر است؛ بنابراین باید سرعت نقالهها را افزایش دهید تا محصول آسیب نبیند.
مزایا و معایب این روش
از مزایای این روش میتوان به کاهش آلایندهها اشاره کرد؛ همچنین این روش روشی «سبزتر» برای تولید نیمههادیها است. اما این روش هم معایبی دارد؛ لامپهای مادون قرمز انرژی زیادی مصرف میکنند. اگر شبکه برق شما برای تحمل این میزان انرژی آماده نباشد، مشکلاتی پیش خواهد آمد. همچنین باید با مشکلات ناشی از گرمای اضافی نیز کنار بیایید؛ اگر سیستم خنککننگ مناسبی برای لامپها نداشته باشید، گرمای اضافی میتواند به سیستم حمل و نقل محصول آسیب برساند. من معمولاً توصیه میکنم که از سیستم خنککننگ مجهز برای لامپها استفاده کنید؛ این کار باعث استабیل ماندن کل سیستم و جلوگیری از مشکلات پیچیده میشود.