על רצפת המפעל, סטייה של 2°C בתהליך ה-soft bake מספיקה כדי להזיז ממדים קריטיים ולפגוע בתוצאת המערכת. בנינו את תנור חדר הניקיון עם מחממי אינפרא-אדום כדי להסיר את המשתנות הזו, ולספק בקרת טמפרטורה שהליטוגרפיה דורשת בפועל.
כאן לב הלב הטכני. אלמנטים של אינפרא-אדום קצר-גל פולטים אנרגיה ישירות אל העומס, כך שההשהיה התרמית יורדת והטמפרטורה מתייצבת במהירות. לאורך אזור החימום שומרים על אחידות של ±0.1°C, ויציבות נקודת ההגדרה נשמרת תחת מחזוריות קבועה.
גוף המחמם והמתקנים מתוכננים לשימוש בכיתת ניקיון Class 1–100 — חומרי פליטה נמוכים ועיצוב שאינו מפזר חלקיקים ברגע שמגיעים למצב יציב. פרופילי אפיית פוטורזיסט — soft bake ו-hard bake — נשארים בטווח המפרט, מה ששומר על תפוקה גבוהה ועל הפחתת פסולת.
בתהליכי עיבוד וופרים, התקציב התרמי הוא מוגבל. מחמם זה עומד בדיוק הנדרש על ידי תקנות הבינלאומיות לציוד יצור חצי-מוליכים, ולכן מהווה אפשרות מאומתת ושוות ערך לשדרוגים ולהתקנות מחדש של תנורים.
אתם מקבלים העלאה מהירה לטמפרטורת הדירוג, שליטה מדויקת יותר בממד הקריטי (CD), וצריכת אנרגיה נמוכה יותר בזכות יעילות ההמרה הגבוהה והפסדים במצב המתנה המזעריים. הוא פועל 24/7 ללא זמני השבתה לא מתוכננים, ומספק תוצאות חוזרות בכל משמרת, על כל כלי עבודה.
כעת, הצד המעשי. התקנות מחדש מחייבות התייחסות לגיאומטריית תא התנור, תבנית זרימת האוויר, ומה זמין מבחינת ממשקי חשמל ובקרה. המחמם מבצע בצורה מיטבית כאשר העומס קבוע ומתכון האפייה מבוסס על ערימת הוופרים בפועל, ולא רק על נקודת ההגדרה של התנור.
תכננו ריצת קליטה קצרה כדי לקבע את הפרופיל, ואחר כך ודאו ספירת חלקיקים בחדר הניקיון לפני המעבר לייצור.