फैब फ्लोर पर, एलिप्सोमेट्री डेटा का मूल्य तभी ही होता है, जब प्रोब का तापमान सही हो। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान 1°C का भी अंतर, फोटोरेसिस्ट की मोटाई एवं CD मानों को प्रभावित कर देता है; इससे वेफर खराब हो सकता है। हमने ऐसे ही परिस्थितियों को दूर करने हेतु एलिप्सोमेट्री प्रोब हीटर बनाया है – वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, इसलिए रीडिंगें प्रक्रिया के आधार पर ही होती हैं, न कि तापमान में होने वाले उतार-चढ़ावों के आधार पर।
क्या महत्वपूर्ण है?
हीटर में कम थर्मल-मास वाले, NIR-ऑप्टिमाइज्ड घटकों का उपयोग किया गया है; इससे चक एवं वेफर पर तापमान में कोई अंतर नहीं आता। 25°C से 300°C तक के तापमान में भी अंतर ±0.1°C के भीतर ही रहता है। रैम्प कंट्रोल के कारण फोटोरेसिस्ट का तापमान नियंत्रित रहता है। क्लीनरूम संबंधी नियमों का भी पालन किया गया है – सामग्रियाँ एवं सीलें क्लास 1–100 के अनुरूप ही चुनी गई हैं; डिज़ाइन ऐसा है कि स्थिर अवस्था में भी कोई कण नहीं निकलते। 5,000+ घंटों तक भी आउटपुट स्थिर रहता है, एवं निरंतर संचालन के दौरान तीव्रता में 5% से भी कम अंतर आता है।
लिथोग्राफी में इसका क्या फायदा है?
लिथोग्राफी में, प्रोब हीटर मापन बिंदु पर तापमान संबंधी शर्तों को नियंत्रित करता है; इससे हार्ड बेक के बाद होने वाले तापमान-संबंधी उतार-चढ़ावों से बचा जा सकता है। सॉफ्ट बेक की पुनरावृत्ति क्षमता में सुधार होने से प्रक्रिया आसान हो जाती है, एवं एलिप्सोमेट्री वास्तविक स्थिति को ही दर्शाती है। इससे त्रुटियाँ कम हो जाती हैं, CD का नियंत्रण बेहतर हो जाता है, एवं प्रक्रिया का समय भी नियंत्रित रहता है। तेज़ गति से तापमान नियंत्रित होने से ऊर्जा भी बचती है, एवं सटीकता भी बनी रहती है।
क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
इस उपकरण को स्वच्छ, फिल्टर्ड विद्युत आपूर्ति की आवश्यकता है; साथ ही प्रोब इंटरफेस के साथ सटीक यांत्रिक संरेखण भी आवश्यक है – अन्यथा माइक्रोन-स्तर पर तापमान संबंधी असमानताएँ हो सकती हैं। यह मानक टूल इंटरफेसों के साथ भी काम कर सकता है, लेकिन एलिप्सोमेट्री स्टेज के लिए कनेक्टर एवं माउंटिंग का चयन आवश्यक है। वेफर स्टैक के लिए PID स्थिरांकों को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है।