अपने क्लीनरूम को वास्तव में साफ रखना: इन्फ्रारेड हीटिंग के बारे में सच्चाई
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम चला रहे हैं, तो आपको पहले से ही कणों के निकलने की समस्या का अंदाजा होगा। थोड़ी सी धूल या गैस ही पर्याप्त है आपके सभी वेफरों को नष्ट करने हेतु।
समस्या यह है कि अधिकांश सामान्य हीटिंग उपकरण ऐसी स्थितियों हेतु उपयुक्त नहीं हैं। चूँकि ये उपकरण गर्म एवं ठंडे होते समय सूक्ष्म कणों को छोड़ते हैं, इसलिए यह एक लगातार चलने वाली समस्या है।
हमने इसका बेहतर समाधान ढूँढा। हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग करते हैं, जिन पर सोने की परत होती है। यह तरीका सरल है, लेकिन प्रभावी है।
सोना क्यों?
सामान्य क्वार्ट्ज लैंपों में ऊष्मा हर दिशा में फैल जाती है… यह बर्बादी है।
ट्यूब के पिछले हिस्से पर सोने की पतली परत लगाने से, इन्फ्रारेड ऊर्जा केवल आगे की ओर ही जाती है। इससे आपके सब्सट्रेट पर पड़ने वाली ऊष्मा दोगुनी हो जाती है। हम सोने का उपयोग इसलिए करते हैं, क्योंकि यह इन्फ्रारेड ऊर्जा को परावर्तित करने में सबसे अच्छा है… एवं अन्य सामग्रियों के विपरीत, यह गर्म होने पर ऑक्सीकृत नहीं होता।
हम कोई साधारण काँच नहीं इस्तेमाल करते… हम उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं। इससे जब ऊष्मा बढ़ती है, तो ट्यूब से आयनों का सिलिकॉन पर जाना रुक जाता है… इससे क्लीनरूम साफ ही रहता है।
गति, ऊष्मा… एवं सावधानियाँ
ये लैंप तेज़ तापीय प्रसंस्करण हेतु बनाए गए हैं। चूँकि सोना ऊर्जा को केंद्रित करता है, इसलिए ऊष्मा का प्रभाव अधिक केंद्रित रहता है… इससे आप अपने लक्ष्य तापमान तक जल्दी ही पहुँच जाते हैं… इससे वेफरों पर दबाव कम रहता है।
लेकिन एक बात ध्यान रखें… अपनी ऊर्जा घनत्व पर नज़र रखें।
जब आप इन लैंपों को अधिकतम स्तर तक चलाते हैं, तो उनके एंड कैप एवं सीलों पर बहुत दबाव पड़ता है… मैं हमेशा लोगों से कहता हूँ कि वे अपने वैक्यूम सीलों एवं शीतलन प्रणालियों पर नज़र रखें… आप तो नहीं चाहेंगे कि तापीय दबाव के कारण क्वार्ट्ज टूट जाए।
अपनी लाइन में इनका उपयोग कैसे करें?
हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि इन्हें बिना किसी परिवर्तन के ही उपयोग में लाया जा सके… आपको अपने सभी उपकरणों को फिर से बनाने की आवश्यकता नहीं है।
सबसे अच्छी बात यह है कि आप उन बड़े आकार के बाहरी रिफ्लेक्टरों का उपयोग नहीं करेंगे… वे तो धूल आकर्षित करते हैं… एवं उन्हें साफ करना भी कठिन है। चूँकि परावर्तन प्रक्रिया ट्यूब में ही होती है, इसलिए आपके क्लीनरूम में कम ही पुर्जे होते हैं… कम पुर्जों का मतलब है तेज़ सफाई प्रक्रिया… एवं तेज़ सफाई प्रक्रिया का मतलब है कि कणों की संख्या वहीं रहती है, जहाँ उसे होना चाहिए।