स्मार्ट फैक्ट्रियों में तापमान को सही तरीके से नियंत्रित करना
यदि आप इंडस्ट्री 4.0 की दिशा में आगे बढ़ रहे हैं, तो आपको यह समझ में आ चुका होगा कि पुराने तरीकों से तापमान नियंत्रित करना अब पर्याप्त नहीं है। वेफरों को गर्म करने हेतु इन्फ्रारेड (IR) सिस्टम ही सबसे उपयुक्त विकल्प हैं। ये सिस्टम लक्ष्य तक सीधे पहुँचते हैं, बिना उसे छूए ही… और लगभग तुरंत ही प्रतिक्रिया देते हैं।
वास्तव में प्रभावी नियंत्रण
डिजिटल फैक्ट्रियों में, हीटर्स को सिर्फ “साधारण घटक” ही नहीं होना चाहिए… उन्हें तो सेंसरों की तरह ही कार्य करना चाहिए।
हमारे IR सिस्टम, PLC लूपों एवं PID कंट्रोलरों में आसानी से जुड़ जाते हैं। हमने इन्हें ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे ठीक उतनी ही ऊर्जा प्रदान करें, जितनी आवश्यक है… यानी, आपका सॉफ्टवेयर वेफर की सतह पर वास्तविक तापमान के अनुसार ही ऊर्जा निर्धारित कर सकता है।
अब कोई अनुमान नहीं… न ही कोई आशा… आपको हर गर्मी-चक्र का स्पष्ट डिजिटल रिकॉर्ड मिल जाता है।
शॉर्टवेव IR की शक्ति
हम शॉर्टवेव IR एमिटरों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ये सिलिकॉन वेफरों में ऊर्जा पहुँचाने में बहुत ही कुशल हैं।
कंवेक्शन ओवन के बारे में सोचिए… यह तो सब कुछ ही गर्म कर देता है… लेकिन IR अलग है… यह तो केवल लक्ष्य तक ही ऊर्जा पहुँचाता है… बाकी सब कुछ अप्रभावित रहता है। इससे आपका वैक्यूम चैंबर एवं टूल हाउसिंग भी अतिरिक्त गर्मी से प्रभावित नहीं होते। इसके अलावा, चूँकि ऊर्जा-घनत्व बहुत ही अधिक है, इसलिए आप छोटे ही हीटरों का उपयोग कर सकते हैं… और फिर भी उत्पादन दर ऊँची ही रहेगी… यह तो एक बढ़िया विकल्प है।
सावधानी: थर्मल स्ट्रेस
लेकिन ध्यान रखें… तेज़ गति तो अच्छी है… लेकिन यह दोहरे धार वाली तलवार भी हो सकती है।
यदि आप बहुत ही तेज़ी से तापमान बढ़ाते हैं, तो पतले वेफरों में विकृति आ सकती है… या थर्मल स्ट्रेस भी हो सकता है… यह तो एक संतुलन ही है… आपको अपनी गति एवं तापमान-वृद्धि को बहुत ही सावधानी से नियंत्रित करना होगा… सुरक्षा हेतु, हम आमतौर पर इन हीटरों के साथ रियल-टाइम पायरोमेट्री का उपयोग करने की सलाह देते हैं… इससे आपको कोई समस्या ही नहीं होगी।
स्विच करना
स्मार्ट फैक्ट्रियों में तो सब कुछ ही मॉड्यूलर होना चाहिए…
हमारे IR सिस्टम, पुराने रेजिस्टिव हीटरों का ही विकल्प हैं… और सबसे अच्छी बात यह है कि आपको अब ऊर्जा बर्बाद नहीं करनी पड़ेगी… वेफर को गर्म करने हेतु आपको बड़े मात्रा में धातु को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं है… आपको तो केवल वेफर ही गर्म करना है।
इससे आपकी कुल ऊर्जा-खपत कम हो जाती है… आपके क्लीनरूम के HVAC सिस्टम को भी अतिरिक्त गर्मी से निपटने हेतु ज्यादा काम नहीं करना पड़ता… यह तो बहुत ही अच्छा है।