1つの故障したランプが生産全体を台無しにするのを防ぐ
高圧環境下での製造工程では、すべてが順調に進んでいるように見えます。しかし、たった1つの赤外線ランプが故障するだけで、状況は一変します。それはまさに悪夢です。
問題は単に停止時間だけではありません。ランプが破損すると、石英の破片や化学物質がウェーハ上に飛び散ります。そうなれば、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。私たちも同じ経験をしてきました。だからこそ、このようなリスクを事前に防ぐためのランプを開発したのです。
「爆発」を防ぐために
ほとんどのランプは、熱ショックや局所的な過熱によって故障します。これを解決するために、私たちは高純度の溶融石英を使用しています。また、適切な壁厚を実現するために多大な時間を費やしました。そうすることで、ガラスが急激な加熱・冷却に耐えられ、微細な亀裂が生じるのを防ぎます。
しかし正直に言って、ガラスは依然として壊れる可能性があります。だからこそ、物理的な保護シールドを追加しました。ランプが破損しても、このシールドが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハは汚染されず、生産を続けることができます。
高温対策
高出力のランプは非常に高温になります。冷却が不十分だと、ランプの端が過熱し、密封が破れてしまいます。これはよくある問題です。
私たちは、真空を維持しつつも極端な温度変化に耐えられる特別なシールを開発しました。何千回もの試験を行い、実際の環境でも機能することを確認しました。
妥協点
正直に言うと、どんなシールドも100％透明というわけではありません。そのため、わずかに熱伝達が低下してしまいます。
私たちは、それを隠そうとはしません。代わりに、ランプの出力を調整してその欠点を補います。そうすれば、目標とする加熱温度に到達できます。そして、ランプが破損しても生産が妨げられないという安心感が得られます。
シンプルにする
私たちは、ランプのサイズを小さくしました。ランプが寿命を迎えたら、簡単に交換できます。再調整に数時間を費やす必要はありません。
ちょっとしたコツ：コネクタをしっかり固定しておきましょう。配線が緩むとアークが発生し、それがランプの早期破損の原因になります。シンプルですが、大きな効果があります。