グローブボックス内での熱の無駄遣いを止めましょう。
もし、グローブボックスの中でシリコンウェーハを加熱したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。多くのエネルギーを投入しても、その大部分が無駄になってしまいます。一般的なIRヒーターは、熱をあらゆる方向に放出します。その半分は、ウェーハではなくチャンバーの壁に当たってしまいます。これは、電力と時間の無駄です。
私たちは、より良い方法を見つけました。ヒーター部分に金メッキされた反射板を取り付けるのです。
なぜ金なのか？
理由は簡単です。金は、アルミニウムや研磨された鋼鉄よりもはるかに優れて赤外線を反射します。そのため、熱がハードウェアに吸収される代わりに、金の層がその赤外線を再びウェーハに向けて反射させます。これにより、ぼやけた熱源が集中した熱束となり、必要な場所に正確に熱が届くのです。
ただし、注意点もあります。ウェーハに大量の熱を送り込むため、ランプのケース自体が非常に高温になります。これはトレードオフです。グローブボックスの換気状態やヒートシンクをしっかり確認する必要があります。もしケース周辺の空気の流れが不十分だと、回路が壊れたり、最悪の場合はコネクタが溶けてしまったりする可能性があります。
良いことに、これらは既存の装置に容易に取り替えられます。全体の設備を作り直す必要はありません。金メッキされた反射板を取り付けるだけで、消費される電力が有効に活用されます。目標温度に到達するまでの時間も短くなり、電源の負担も大幅に軽減されます。
また、高精度な温度制御が必要な場合でも、この方式は非常に有効です。ウェーハ全体に均一に熱が行き渡り、厄介なホットスポットもなくなります。適切なPIDコントローラーを組み合わせれば、望み通りの精度で温度を維持できます。