クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業するとき、最も避けたいのが、ヒーターが「コンフェッティマシン」のように機能してしまうことです。
一般的なヒーターは、ガスを放出したり、剥がれ落ちたりする傾向があります。普通の場合は問題ありませんが、ウエハーや医療用インプラントを扱うときは、わずかな微粒子でも全体の品質を台無しにしてしまいます。本当に厄介です。
そのため、私たちは高純度の合成石英を使った赤外線ランプを使用しています。これらのランプは、ほんの少しのほこりでも許されない、洗浄や乾燥の工程に特化して設計されています。
秘密は材料にあります。
私たちは高品質な溶融シリカを使用しています。金属不純物を除去することで、ランプが加熱や冷却時に破片を飛ばすのを防ぎます。
さらに、石英製のケースは完全に密閉されており、防水性もあります。つまり、ヒーター部分を洗浄しても、短絡や周囲の汚染の心配がありません。とても便利です。
熱についてですが…
これらのランプは、強力な短波放射を発するように設計されています。つまり、熱が素早く直接作用します。洗浄液や薄い膜を簡単に貫通します。
最良な点は、熱が必要な場所にだけ集中することです。機械全体が過度に加熱されることはありません。
取り付け時に注意すべき点
これらのランプは迅速な設置を目的に設計されていますが、消費電力には注意が必要です。これらのランプは狭いスペースで大量の熱を発生させます。
もし冷却ファンやヒートシンクが十分でなければ、ランプの端部が過熱してしまいます。そして過熱すると、ランプは壊れてしまいます。とても単純です。
また、デザインもシンプルにしています。重たいケースや余計なカバーは一切なく、高純度のチューブと密閉された接続部しかありません。そのため、ほとんどの半導体や医薬品製造ラインに簡単に設置できます。
最後に、高湿度の環境で洗浄する場合は、接続部をしっかり確認してください。腐食を防ぐために、接続部が耐湿性を持っていることを確認してください。