Mengapa kita beralih kepada kaedah pengeringan menggunakan sinar inframerah untuk semikonduktor tanpa plumbum
Cara kita memproses semikonduktor sedang berubah. Kita kini meninggalkan penggunaan bahan pengering yang menggunakan pelarut berbahaya serta katalis logam berat. Kebanyakan orang kini beralih kepada kaedah pengeringan menggunakan sinar inframerah. Mengapa? Kerana ia merupakan cara yang lebih efektif. Daripada memanaskan seluruh bilik pemprosesan atau bergantung pada bahan tambahan kimia, sinar inframerah dapat memberi kesan langsung pada permukaan wafer. Ia merupakan cara yang lebih efisien dan bersih.
Bagaimana tenaga digunakan
Bayangkanlah begini: Sinar inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik untuk menggerakkan molekul-molekul dalam bahan fotoresist atau bahan pelekat tersebut. Ketuhar konvensional pula beroperasi dengan perlahan kerana ia perlu memanaskan udara terlebih dahulu. Namun, lampu inframerah tidak memerlukan langkah ini. Ia memindahkan tenaga secara langsung ke permukaan wafer. Ini bermakna kita tidak perlu menggunakan pelarut organik yang sering mengeluarkan gas berbahaya semasa proses pemprosesan. Selain itu, jika kita menyesuaikan panjang gelombangnya agar sesuai dengan bahan yang digunakan, kita tidak akan membazir tenaga yang tidak diperlukan.
Jarak yang ideal
Dalam hal pemanasan wafer, jarak merupakan faktor penting. Jika lampu diletakkan terlalu dekat, ia akan menyebabkan masalah seperti “titik panas” atau bahkan merosakkan bahan fotoresist tersebut. Sebaliknya, jika lampu diletakkan terlalu jauh, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer akan menjadi lebih lama. Ia memerlukan keseimbangan yang tepat agar suhu panasnya merata, tetapi intensitinya masih mencukupi. Ingatlah: jarak yang lebih dekat bermakna suhu yang lebih tinggi, jadi kita perlu mempercepatkan kelajuan konveyor agar produk tidak rosak.
Kekurangan kaedah ini
Di sisi positifnya, ini merupakan cara yang lebih “mesra alam”. Tidak ada lagi penggunaan bahan penstabil yang mengandungi plumbum. Tiada juga jejak karbon yang banyak dalam bilik pemprosesan. Yang paling baik ialah prosesnya berlaku dengan cepat. Tidak perlu menunggu proses pemanasan terlebih dahulu. Namun, ia bukanlah cara yang sempurna. Lampu inframerah yang berintensiti tinggi memerlukan arus elektrik yang banyak. Jika sistem bekalan elektrik tidak mampu menahan beban tersebut, litar akan terputus sebaik sahaja proses pemanasan dimulakan. Anda juga perlu menghadapi masalah haba yang berlebihan. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, haba tersebut akan merosakkan komponen-komponen lain. Saya biasanya mencadangkan penggunaan sistem penyejukan udara di bahagian belakang lampu tersebut. Ia dapat memastikan keseluruhan sistem berfungsi dengan baik dan mengelakkan masalah yang mahal.