میتوانید نحوه جدا شدن ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری از دستگاه لایهنشانی را تماشا کنید. فوتورزیست در آنجا قرار دارد و آماده استفاده است؛ اما اگر گرمایش یکنواخت نباشد، نه تنها یک ویفر از بین میرود، بلکه باعث کاهش کیفیت کل فرآیند لایهنشانی میشود. ما سیستم IR مخصوص ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری خود را برای رفع این مشکل طراحی کردهایم؛ این سیستم گرما را به طور یکنواخت در نقاط مورد نیاز توزیع میکند.
چه چیزی واقعاً اهمیت دارد؟
ما از فرستندههای مادون قرمز با طول موج کوتاه برای انتقال سریع انرژی استفاده میکنیم. این روش باعث میشود دمای سطح ویفر در کل سطح ۳۰۰ میلیمتری، در حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد یکنواخت باقی بماند؛ همچنین این وضعیت در تمام چرخههای فرآیند حفظ میشود. این سیستم با اتاقکهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ همچنین عملکرد آن بدون هیچ گونه ذرهای صورت میگیرد، بنابراین اتاقک تمیز باقی میماند.
دلیل اهمیت این موضوع در فرآیند لایهنشانی این است که این سیستم مستقیماً به مراحلی که بیشترین حساسیت را نسبت به گرما دارند، کمک میکند؛ مانند فرآیندهای گرمایش نرم، گرمایش سخت و تثبیت لایهها. وقتی که یکنواختی دما بالا باشد، کنترل ابعاد مهم نیز به خوبی انجام خواهد شد و نقصها کاهش خواهند یافت. همچنین، پاسخ حرارتی این سیستم سریع است، بنابراین زمان انجام فرآیند کاهش مییابد.
فرستندههای این سیستم نیز طوری طراحی شدهاند که بتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت به طور مداوم کار کنند؛ این امر باعث کاهش مشکلات احتمالی و صرفهجویی در زمان و هزینهها میشود.
چه چیزی را باید در نظر بگیرید؟
این سیستم میتواند به راحتی در فرآیندهای موجود گنجانده شود؛ اما نیاز به منبع تغذیه و سیستم خنککنندگی جداگانه دارد. برای حفظ پایداری حرارتی، به برق ۲۴۰ ولت، سهفاز و همچنین آب خنک شده برای خنککردن سیستم نیاز است.
مزیت این روش، کنترل قابل تکرار فرآیند، روز به روز، است.