1つの故障したランプが生産全体を台無しにするのを防ぐ 高圧環境下での製造工程では、すべてが順調に進んでいるように見えます。しかし、たった1つの赤外線ランプが故障するだけで、状況は一変します。それはまさに悪夢です。 問題は単に停止時間だけではありません。ランプが破損すると、石英の破片や化学物質がウェ...

ウェーハフロアでは、ベイク工程および接着剤硬化がライン歩留まりを左右する要因となる。ハードベイクプロファイルの1.5℃の変動が、多数の200mmウェーハをスクラップ化させる可能性がある。レシピ通りの温度を、交代ごとに正確に供給する必要がある。 技術的に重要な点 当社の赤外線硬化モジュールは、基板全...