IR加熱と熱風加熱：なぜウェーハ処理に時間がかかるのか もし依然として半導体の精密加工に熱風循環方式を使っているのであれば、おそらく待機に多くの時間を費やしていることでしょう。 実際、熱風加熱は対流によって動作します。ウェーハが温まり始める前に、チャンバー内の空気全体を加熱しなければなりません。こ...

フォトレジストの焼成時に0.5℃というわずかな温度変動があっただけで、製品の寸法が狂い、大量のロスが発生してしまいます。私たちは、このような不確実性を排除するために、高温用のサーマルテープを使用したファブシステムを開発しました。 技術的に重要な点 このシステムは、短波赤外線とフィードバック制御機能...