フォトレジスト剥離用サポートヒーター

リソグラフィーの工程においては、フォトレジスト処理室の温度が不安定になることは許されません。温度のばらつきは、残留物やパターンの損傷といった問題を引き起こし、その結果、回復不可能な損失が生じます。私たちは、プロセス温度を一定に保つためのヒーターを開発しました。そうすることで、化学反応が適切に進行し...