クリーンルームを本当に清潔に保つために：赤外線加熱の真実 もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、粒子による汚染という問題がどれほど深刻かご存知でしょう。わずかなほこりやガスの放出だけで、作業中のウェーハ全体が台無しになってしまいます。 問題は、一般的な加熱要素ではこのような状況に対応...

ヒーターがウェーハの品質を損なうのを防ぎましょう クラス100のクリーンルームを運営しているなら、空気浄化の重要性はご存知でしょう。しかし、実際には、ヒーターこそが静かな敵となっていることが多いのです。 ほとんどの標準的な加熱要素は、使用中に微細な粒子を放出します。それらは目に見えないものですが、...

なぜ私たちはついに対流式オーブンを使わなくなっているのか？ 長い間、私たちはすべての部品を大きな対流式オーブンに入れて、うまくいくことを願っていました。しかし、今は状況が変わってきています。ほとんどの半導体製造工場では、強制送風方式をやめてIR照射による硬化処理を採用しています。これは単に「環境保...

はじめに さっそく本題に入りましょう。半導体製造工場において、ヒーターは単なる部品ではありません。それはまさに「エンジン」のようなものです。 私たちが開発したテフロン絶縁処理が施されたヒーターワイヤーは、最も重要な課題、つまり、発生する熱エネルギーをウェハ上の正確な場所に届けるという課題を解決する...

ウェーハフロアでは、ベイク工程および接着剤硬化がライン歩留まりを左右する要因となる。ハードベイクプロファイルの1.5℃の変動が、多数の200mmウェーハをスクラップ化させる可能性がある。レシピ通りの温度を、交代ごとに正確に供給する必要がある。 技術的に重要な点 当社の赤外線硬化モジュールは、基板全...

fabフロアでの温度変動がもたらす影響 ウェハ検査中の温度逸脱はクリティカル寸法をずらし、ロットのスクラップやリソグラフィ時間の消失につながる可能性があります。これを防ぐため、当社の検査装置用ヒーターは設計されています。短波赤外線を利用し、サブミリメートル単位の均一性と再現性のある安定した熱場を形...