半導体検査装置用ヒーター

fabフロアでの温度変動がもたらす影響 ウェハ検査中の温度逸脱はクリティカル寸法をずらし、ロットのスクラップやリソグラフィ時間の消失につながる可能性があります。これを防ぐため、当社の検査装置用ヒーターは設計されています。短波赤外線を利用し、サブミリメートル単位の均一性と再現性のある安定した熱場を形...